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真空油:油擴散泵的常見故障及原因

来源:    作者:    发布时间:2012-11-12 11:02    浏览量:208

 

【惠豐潤滑油提供:油擴散泵的常見故障及原因】

由于真空設備長期運轉及其它一些因素的影響,擴散泵的性能可能會逐漸變壞,現將使用中經常出現的一些問題如述如下;

1) 极限真空变低
    原因: a.系统中有渗漏;
           b.系统太脏;
           c.泵油污染;
           d.加热功率不够;
           e.冷却水不足;
           f.过量或过冷的冷却水;
           g.前级压力高;检查密封性能及前级管道是否有泄漏现象;
           h.快冷管内有水。

2) 抽气较慢
    原因: a.加热功率低;
           b.油量不足;
           c.喷帽安装位置不当或受损。

3) 进口压力波动
    原因: a.加热器输入功率不当;
           b.油脱气;
           c.擴散泵進口前面系統有滲漏。

4) 工作腔污染大
    原因: a.前级压力高;
           b.在高于10-1Pa压力下长期工作;
           c.系统操作有误。

5) 返油率过大:
    原因: a. 顶喷嘴帽松动,间隙过大;
           b. 加热功率不对

 

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